Profiling of patterned metal layers by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS)
- Bi, M.
- Ruiz, A.M.
- Gornushkin, I.
- Smith, B.W.
- Winefordner, J.D.
ISSN: 0169-4332
Año de publicación: 2000
Volumen: 158
Número: 3
Páginas: 197-204
Tipo: Artículo