Profiling of patterned metal layers by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS)

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  4. Smith, B.W.
  5. Winefordner, J.D.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 158

Nummer: 3

Seiten: 197-204

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0169-4332(00)00027-1 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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