Profiling of patterned metal layers by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS)

  1. Bi, M.
  2. Ruiz, A.M.
  3. Gornushkin, I.
  4. Smith, B.W.
  5. Winefordner, J.D.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 2000

Volum: 158

Número: 3

Pàgines: 197-204

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0169-4332(00)00027-1 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus